超級(jí)千分表的發(fā)展

作者：鄒自強(qiáng) 李明媛 鄒光宇

摘要：討論了超級(jí)千分表的工作原理和優(yōu)點(diǎn)，描述了超級(jí)千分表關(guān)鍵參數(shù)及其檢測(cè)方法。其中，由于百萬(wàn)分表(納米表，納米測(cè)長(zhǎng)儀)的技術(shù)難度最大，所以文中側(cè)重討論它的檢測(cè)。大量的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)表明：百萬(wàn)分表的測(cè)量重復(fù)性(標(biāo)準(zhǔn)偏差)在0.6～1.2nm范圍內(nèi)；在未作任何誤差修正的條件下，示值誤差＝±（30～60）nm；以光波波長(zhǎng)作為基準(zhǔn)進(jìn)行誤差修正后，示值誤差可達(dá)±（10～20）nm，細(xì)分誤差≤±5um。

有誰(shuí)用過(guò)超級(jí)千分表?超級(jí)千分表的測(cè)力是多大?

我沒(méi)見(jiàn)過(guò)是怎么回事

大膽的設(shè)想，頂