三維影像測量儀的Z軸如何校準

有知道的嗎，X，Y兩個方向的示值誤差可以用玻璃尺，但是Z軸用什么標準器呢，聲明用量塊的誤差很大

影響測量儀的Z軸誤差一般都很大，不是你選用量塊造成的。通常Z周的重復性三、四個微米，誤差就可想而知了。

是的，我想知道有沒有可以校準他的東西，要不廠家是怎么確認Z軸的精度的

據(jù)我所知，就是用量塊。通常Z軸只用作定位，誤差大概0.01mm以內。不能拿影像測量儀當三座標用，真要做Z方向測量的話，可以選用日本union公司的影像測量儀，Z軸誤差2微米左右，Z軸重復性可以到0.5微米。
WWW.union.co.jp這是網(wǎng)址，可以上去了解一下。價格大概RMB20萬左右。

謝謝漁民，你一定是這方面的專家了，想再請教一個問題：：：：輪廓儀的示值誤差用什么標準器來校準

粗糙度測量功能用多刻線樣板（目前通常用的是正弦波樣板），輪廓測量功能用單刻線樣板，一組不同深度的刻線。

原帖由 計量民工 于 2007-8-28 13:01 發(fā)表
有知道的嗎，X，Y兩個方向的示值誤差可以用玻璃尺，但是Z軸用什么標準器呢，聲明用量塊的誤差很大

基本上都是用量塊校正,但是是用倍率最大的那個物鏡,相對來講,誤差比用小倍率的小些!我校過OLYMPUS的機器.1μ內吧!

謝謝漁民，但是有些輪廓儀可以測量R值，高度等，如果單用單刻線樣板就可以了么


尋夢： 我測過ogp的誤差在10微以上，還是自動調焦的？

實際上現(xiàn)在許多儀器都在向多功能的方向發(fā)展，傳統(tǒng)方式的校準只解決一部分問題。比如坐標機，常規(guī)校準只測探測誤差和長度測量的示值誤差，但那并不代表測圓和測其他形狀也具有同樣的“精度”。由此引出了面對測量任務的不確定度這個概念。所以，想知道多功能儀器各功能的“精度”，就要用與各功能相符的標準器去校準。假如你的輪廓儀右測R的功能，建議你找?guī)讉€不同（已知）直徑的標準球（或半球）去校準。意見供參考。

1.        有些軟件有Ζ軸輔助對焦的功能可以協(xié)助校正，但光學倍率要在高倍率得位置。再搭配量塊使用。
2.        加裝探針量測也可以校正

Z軸校一般用 階梯規(guī)

若單純檢測Z軸可考慮采用量塊和電感儀配套檢查
1、調平玻璃工作臺與導軌的平行度
2、安裝電感儀
3、安裝定位量塊

若檢測Z軸的影像定位誤差，首先要制做一個對比度較高的標樣，并把標樣附著在約5毫米的量塊上，且標樣工作面與量塊另一工作表面的平行度要求在0.5微米內。然后調整影像測量儀，觀看標樣至清晰且高倍率，采用慢速自動對焦，觀察影像測量儀的重復性至儀器要求。后采用量塊研合法對聚焦位移進行檢查即可。

Z軸的定位精度可以用激光干涉儀測量

請問漁民，單刻線樣板用作輪廓校準會把樣板損壞么？因輪廓儀觸針比較尖銳！

我認為影像測量儀Z軸應該用量塊校準，誤差大不是量塊造成的，而是測量儀本身重復性差造成的。輪廓儀的校準應該用單刻線樣板、多刻線樣板、標準半球等進行。

影像測量儀的Z軸是用量塊校準的，你校準的誤差大不是量塊的問題，而是光源的問題。現(xiàn)在有一種先進的光源，可以在量塊的表面上形成明暗條紋，這樣對焦時精度非常高。三豐的新儀器中有這種技術，他們是在玻璃上刻了許多細小的條紋，要用時移動這塊玻璃，校準后的最大誤差僅2微米。美國有一家公司（名稱好象叫PINNECK)也有這種技術，效果還更好，他們用的是液晶技術。

有的工廠一般Z軸的使用精度也不是太高，不多，現(xiàn)在大多數(shù)還是用量塊來校正，盡管誤差可能比較大。

影像測量儀可以按國家標準《影像測量儀的驗收檢測和復檢檢測》（報批稿）校準。http://www.bkd208.com/thread-113005-1-2.html

量塊校準就可以了，誤差大不是量塊造成的，是對焦測量原理造成的，有測量探頭就精度高了。

在Z軸上安裝扭簧表，利用量塊可以校準Z軸的定位精度，但注意定位精度不同于測量精度。

用量塊校準

現(xiàn)在影像儀一般都是用Z軸配上接觸測頭來打，這樣可以做到2.5-3μ，純光學聚焦去測量量塊的表面的話，一般只保證在5-8μ，很難做到3μ，前面幾位說的2μ，1μ是不可能的，Z軸的機械精度就沒有那么高，這是硬件精度，沒法補。個人觀點，僅供參考。

校準當然是用量塊、階梯規(guī)之類的東西。

加裝上激光測頭或接觸式測頭以后，Z軸測量精度將會提高，現(xiàn)在做的好的，重復性達到1μm以內完全沒問題。
有些Z軸精度比XY低不了很多。

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一般不會，一是樣板有一定的硬度，二是儀器的測力很小，三是觸針尖部是圓弧的，常用的觸針半徑10微米、5微米，最小的2微米。另外，輪廓測量功能的校準可參考國家標準GB/T19600-2004《產(chǎn)品幾何量技術規(guī)范(GPS) 表面結構 輪廓法 接觸(觸針)式儀器的校準》。