三維影像測(cè)量?jī)x的Z軸如何校準(zhǔn)

有知道的嗎，X，Y兩個(gè)方向的示值誤差可以用玻璃尺，但是Z軸用什么標(biāo)準(zhǔn)器呢，聲明用量塊的誤差很大

影響測(cè)量?jī)x的Z軸誤差一般都很大，不是你選用量塊造成的。通常Z周的重復(fù)性三、四個(gè)微米，誤差就可想而知了。

是的，我想知道有沒(méi)有可以校準(zhǔn)他的東西，要不廠家是怎么確認(rèn)Z軸的精度的

據(jù)我所知，就是用量塊。通常Z軸只用作定位，誤差大概0.01mm以內(nèi)。不能拿影像測(cè)量?jī)x當(dāng)三座標(biāo)用，真要做Z方向測(cè)量的話，可以選用日本union公司的影像測(cè)量?jī)x，Z軸誤差2微米左右，Z軸重復(fù)性可以到0.5微米。
WWW.union.co.jp這是網(wǎng)址，可以上去了解一下。價(jià)格大概RMB20萬(wàn)左右。

謝謝漁民，你一定是這方面的專家了，想再請(qǐng)教一個(gè)問(wèn)題：：：：輪廓儀的示值誤差用什么標(biāo)準(zhǔn)器來(lái)校準(zhǔn)

粗糙度測(cè)量功能用多刻線樣板（目前通常用的是正弦波樣板），輪廓測(cè)量功能用單刻線樣板，一組不同深度的刻線。

原帖由 計(jì)量民工 于 2007-8-28 13:01 發(fā)表
有知道的嗎，X，Y兩個(gè)方向的示值誤差可以用玻璃尺，但是Z軸用什么標(biāo)準(zhǔn)器呢，聲明用量塊的誤差很大

基本上都是用量塊校正,但是是用倍率最大的那個(gè)物鏡,相對(duì)來(lái)講,誤差比用小倍率的小些!我校過(guò)OLYMPUS的機(jī)器.1μ內(nèi)吧!

謝謝漁民，但是有些輪廓儀可以測(cè)量R值，高度等，如果單用單刻線樣板就可以了么


尋夢(mèng)： 我測(cè)過(guò)ogp的誤差在10微以上，還是自動(dòng)調(diào)焦的？

實(shí)際上現(xiàn)在許多儀器都在向多功能的方向發(fā)展，傳統(tǒng)方式的校準(zhǔn)只解決一部分問(wèn)題。比如坐標(biāo)機(jī)，常規(guī)校準(zhǔn)只測(cè)探測(cè)誤差和長(zhǎng)度測(cè)量的示值誤差，但那并不代表測(cè)圓和測(cè)其他形狀也具有同樣的“精度”。由此引出了面對(duì)測(cè)量任務(wù)的不確定度這個(gè)概念。所以，想知道多功能儀器各功能的“精度”，就要用與各功能相符的標(biāo)準(zhǔn)器去校準(zhǔn)。假如你的輪廓儀右測(cè)R的功能，建議你找?guī)讉€(gè)不同（已知）直徑的標(biāo)準(zhǔn)球（或半球）去校準(zhǔn)。意見(jiàn)供參考。

Z軸校一般用 階梯規(guī)

若單純檢測(cè)Z軸可考慮采用量塊和電感儀配套檢查
1、調(diào)平玻璃工作臺(tái)與導(dǎo)軌的平行度
2、安裝電感儀
3、安裝定位量塊

若檢測(cè)Z軸的影像定位誤差，首先要制做一個(gè)對(duì)比度較高的標(biāo)樣，并把標(biāo)樣附著在約5毫米的量塊上，且標(biāo)樣工作面與量塊另一工作表面的平行度要求在0.5微米內(nèi)。然后調(diào)整影像測(cè)量?jī)x，觀看標(biāo)樣至清晰且高倍率，采用慢速自動(dòng)對(duì)焦，觀察影像測(cè)量?jī)x的重復(fù)性至儀器要求。后采用量塊研合法對(duì)聚焦位移進(jìn)行檢查即可。

Z軸的定位精度可以用激光干涉儀測(cè)量

影像測(cè)量?jī)x的Z軸是用量塊校準(zhǔn)的，你校準(zhǔn)的誤差大不是量塊的問(wèn)題，而是光源的問(wèn)題。現(xiàn)在有一種先進(jìn)的光源，可以在量塊的表面上形成明暗條紋，這樣對(duì)焦時(shí)精度非常高。三豐的新儀器中有這種技術(shù)，他們是在玻璃上刻了許多細(xì)小的條紋，要用時(shí)移動(dòng)這塊玻璃，校準(zhǔn)后的最大誤差僅2微米。美國(guó)有一家公司（名稱好象叫PINNECK)也有這種技術(shù)，效果還更好，他們用的是液晶技術(shù)。

有的工廠一般Z軸的使用精度也不是太高，不多，現(xiàn)在大多數(shù)還是用量塊來(lái)校正，盡管誤差可能比較大。

影像測(cè)量?jī)x可以按國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《影像測(cè)量?jī)x的驗(yàn)收檢測(cè)和復(fù)檢檢測(cè)》（報(bào)批稿）校準(zhǔn)。http://www.bkd208.com/thread-113005-1-2.html

在Z軸上安裝扭簧表，利用量塊可以校準(zhǔn)Z軸的定位精度，但注意定位精度不同于測(cè)量精度。

用量塊校準(zhǔn)

現(xiàn)在影像儀一般都是用Z軸配上接觸測(cè)頭來(lái)打，這樣可以做到2.5-3μ，純光學(xué)聚焦去測(cè)量量塊的表面的話，一般只保證在5-8μ，很難做到3μ，前面幾位說(shuō)的2μ，1μ是不可能的，Z軸的機(jī)械精度就沒(méi)有那么高，這是硬件精度，沒(méi)法補(bǔ)。個(gè)人觀點(diǎn)，僅供參考。

校準(zhǔn)當(dāng)然是用量塊、階梯規(guī)之類的東西。

加裝上激光測(cè)頭或接觸式測(cè)頭以后，Z軸測(cè)量精度將會(huì)提高，現(xiàn)在做的好的，重復(fù)性達(dá)到1μm以內(nèi)完全沒(méi)問(wèn)題。
有些Z軸精度比XY低不了很多。

14# wcwhere
一般不會(huì)，一是樣板有一定的硬度，二是儀器的測(cè)力很小，三是觸針尖部是圓弧的，常用的觸針半徑10微米、5微米，最小的2微米。另外，輪廓測(cè)量功能的校準(zhǔn)可參考國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T19600-2004《產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 輪廓法 接觸(觸針)式儀器的校準(zhǔn)》。