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GB/T 14140.1-1993 硅片直徑測量方法光學投影法

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jinyibu 發表于 2009-1-16 12:24:59 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 GB/T 14140.1-1993
【標準名稱】硅片直徑測量方法光學投影法
【英文名稱】 Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
【發布單位】 SBTS
【批準單位】國家技術監督局
【發布日期】 1993-2-6
【實施日期】 1993-10-1
【所屬標準】 GB
【開本頁數】 4P
【引用標準】 GB 12962; GB 2828
【采用關系】 ASTM F613-1982,EQV

光學, 投影, 測量方法, 直徑, 硅片

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