GB/T 14143-1993 硅片間隙氧含量紅外吸收測(cè)量方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 14143-1993
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 300-900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測(cè)量方法  
【 英文名稱 】 300-900μm Silicon slices-Measuring of interstitial oxygen content-Infrared absorption method
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-2-6
【 實(shí)施日期 】 1993-10-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開(kāi)本頁(yè)數(shù) 】 4P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F121-1983,REF