GB/T 15909-1995電子工業用氣體 硅烷(SiH4)

【 標準編號 】 GB/T 15909-1995
【 標準名稱 】 電子工業用氣體 硅烷(SiH4)  
【 英文名稱 】 Gas for electronic industry—Silane
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-12-20
【 實施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數 】 7P
【 引用標準 】 GB 190; GB/T 3051; GB/T 5274; GB/T 5832.1; GB 7144
【 采用關系 】 EQV SEMI-93
【 起草單位 】 化學工業部西南化工研究院; 浙江大學材料系; 中科院半導體研究所
【 起 草 人 】 余京松; 佘中玉