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GB/T 15861-1995 離子束蝕刻機通用技術條件

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woshi_tjy 發表于 2008-12-28 10:44:04 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB/T 15861-1995
【 標準名稱 】 離子束蝕刻機通用技術條件  
【 英文名稱 】 Generic specification of ion beam etching system
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1995-12-22
【 實施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數 】 9P
【 引用標準 】 GB 191; GB 5080.7; SJ 142; SJ 1224; SJ/T 10152
【 起草單位 】 電子工業部長沙半導體工藝設備研究所
【 起 草 人 】 安志超; 廖溫初

BZ002023067.pdf

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