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GB/T 15861-1995 離子束蝕刻機通用技術條件

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woshi_tjy 發表于 2008-12-28 10:44:04 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 GB/T 15861-1995
【標準名稱】離子束蝕刻機通用技術條件
【英文名稱】 Generic specification of ion beam etching system
【發布單位】國家技術監督局
【批準單位】國家技術監督局
【發布日期】 1995-12-22
【實施日期】 1996-8-1
【開本頁數】 9P
【引用標準】 GB 191; GB 5080.7; SJ 142; SJ 1224; SJ/T 10152
【起草單位】電子工業部長沙半導體工藝設備研究所
【起草人】安志超; 廖溫初

條件, 離子束, 蝕刻機, 通用技術

BZ002023067.pdf

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