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GB/T 15862-1995離子注入機(jī)通用技術(shù)條件

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woshi_tjy 發(fā)表于 2008-12-28 10:43:33 | 只看該作者 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 15862-1995
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 離子注入機(jī)通用技術(shù)條件  
【 英文名稱 】 Generic specification for ion implantation equipment
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1995-12-22
【 實(shí)施日期 】 1996-8-1
【 開本頁數(shù) 】 9P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 191; GBn 193; GB 5080.7; GB 6388; SJ 142; SJ 1276; SJ 2573
【 起草單位 】 電子工業(yè)部第四十八研究所
【 起 草 人 】 顏亨迪; 廖溫初

BZ002023068.pdf

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