GB/T 14604-1993 電子工業用氣體 氧

【 標準編號 】 GB/T 14604-1993
【 標準名稱 】 電子工業用氣體 氧  
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry—Oxygen
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-8-26
【 實施日期 】 1994-7-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 7P
【 引用標準 】 GB 190; GB 3863; GB 4844; GB 5099; GB 5832.2; GB 6680; GB 6681; GB 7144; GB 7445; GB 8984; GB 8991; GB/T 14605; GB/T 14606
【 采用關系 】 SEMI C3 STD.16-86; C3 STD.17-86; C3.23-90
【 起草單位 】 化學工業部西南化工研究院
【 起 草 人 】 戴培述