GB/T 16942-1997電子工業(yè)用氣體 氫

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 GB/T 16942-1997
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子工業(yè)用氣體 氫  
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry—Hydrogen
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-8-13
【 實(shí)施日期 】 1998-5-1
【 開本頁(yè)數(shù) 】 4P
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 3634-1995; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.3-86; GB/T 6285-86; GB/T 6681-86; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997
【 采用關(guān)系 】 IDT SEMI C3.19-93
【 起草單位 】 化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院
【 起 草 人 】 陳雅麗; 戴培述