GB/T 16943-1997電子工業用氣體 氦

【 標準編號 】 GB/T 16943-1997
【 標準名稱 】 電子工業用氣體 氦  
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry—Helium
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-8-13
【 實施日期 】 1998-5-1
【 開本頁數 】 4P
【 引用標準 】 GB/T 4844.1-1995; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.2-86; GB/T 6285-86; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997
【 采用關系 】 IDT SEMI C3.20-92
【 起草單位 】 化學工業部西南化工研究院; 四川石油管理局六菱化工公司
【 起 草 人 】 佘中玉; 戴啟文