GB/T 16944-1997電子工業用氣體 氮

【 標準編號 】 GB/T 16944-1997
【 標準名稱 】 電子工業用氣體 氮  
【 英文名稱 】 Gases for electronic industry—Nitrogen
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-8-13
【 實施日期 】 1998-5-1
【 開本頁數 】 4P
【 引用標準 】 GB/T 3864-1996; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.2-86; GB/T 6285-86; GB/T 8981-88; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997
【 采用關系 】 EQV SEMI C3.28-92
【 起草單位 】 化學工業部西南化工研究院; 北京普萊克斯實用氣體有限公司
【 起 草 人 】 何道善