GB/T 11446.9-1997電子級水中微粒的儀器測試方法

【 標準編號 】 GB/T 11446.9-1997
【 標準名稱 】 電子級水中微粒的儀器測試方法  
【 英文名稱 】 Test method for particles in electronic grade water by instrument
【 發布單位 】 國家技術監督局
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-9-1
【 實施日期 】 1998-9-1
【 開本頁數 】 2P
【 替代標準 】 GB 11446.9-89
【 引用標準 】 GB/T 11446.1-1997; GB/T 11446.3-1997
【 采用關系 】 ,
【 起草單位 】 中國科學院半導體研究所; 電子工業部標準化研究所
【 起 草 人 】 聞瑞梅; 李曉英; 王在忠; 徐學敏; 孫目盼; 劉任重; 許秀欣