GB/T 1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

【 標準編號 】 GB/T 1558-1997
【 標準名稱 】 硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法  
【 英文名稱 】 Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1997-12-22
【 實施日期 】 1998-8-1
【 開本頁數 】 6P
【 替代標準 】 GB 1558-1983
【 引用標準 】 GB/T 6618-95
【 采用關系 】 ASTM F123-1991,EQV
【 起草單位 】 峨嵋半導體材料廠