GB/T 1558-1997硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 1558-1997
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法  
【 英文名稱 】 Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption
【 發(fā)布單位 】 SBTS
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-12-22
【 實(shí)施日期 】 1998-8-1
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】 GB 1558-1983
【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 6618-95
【 采用關(guān)系 】 ASTM F123-1991,EQV
【 起草單位 】 峨嵋半導(dǎo)體材料廠