使用電感測頭加顯示器的確可以得到更高的測量精度,同時,顯示器的分辨力通常可調,常見的一般可以調至0.1um,某些可以調至0.01um,但通常最后一位數字顯示會跳得厲害.
中國的國家標準及檢定規程將這一類產品稱之為"電感測微儀",必須將測頭與顯示器配對后,組成一個完整的測量系統.目前通行的規程為JJG396-2002,是由河南省計量所與中原量儀廠一起編寫的,這也證明了中原量儀廠在這類產品的生產方面的國內權威性.
中國市場此類產品的國外品牌主要有意大利的Marposs,瑞士的TESA和德國的Mahr,其線性精度方面都很好,但在徑向受力后的求值誤差方面控制得不是很穩定.
需要注意的是,0.1um只是顯示分辨力,實際測量精度/測量不確定度需進行綜合考慮.一般來說,幾個國外品牌的電感測微儀,當把顯示器的顯示分辨力調節到0.1um,同時將測量范圍控制在+/-3um以內,此時,可以達到最高的測量精度.當然,在正式測量前,需進行Master設置,找到測頭的電子零點,因為電感測頭的工作原理與普通的指示表不同,普通指示表是以測頭從最下方移動至最上方的方式來評估其精度指標,而電感測頭是以位于中間位置的電子零點為基準,上下對稱放大測量范圍,離電子零點越近,測量精度越高,所以,在使用時,一定要注意務必先調節好電子零點,然后對顯示器進行置零,再進行正式的測量工作.當然,測頭的裝夾和其它對應的測量夾具或測量頭也會對這種高精度的測量造成影響. |