GB/T 14851-1993 電子工業用氣體 磷化氫

【 標準編號 】 GB/T 14851-1993
【 標準名稱 】 電子工業用氣體 磷化氫  
【 英文名稱 】 Gas for electronic industry—Phosphine
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 國家技術監督局
【 發布日期 】 1993-12-30
【 實施日期 】 1994-10-1
【 所屬標準 】 GB
【 開本頁數 】 11P
【 引用標準 】 GB 190; GB 4845; GB 5099; GB 5274; GB 5832.1; GB 7144; GB 7445; GB 8980; GB 9721
【 采用關系 】 C3 STD.6-88; C3 STD.7-88
【 起草單位 】 化學工業部光明化工研究所
【 起 草 人 】 呂多俊