GB/T 17864-1999 關鍵尺寸(CD)計量方法

【 標準編號 】 GB/T 17864-1999
【 標準名稱 】 關鍵尺寸(CD)計量方法  
【 英文名稱 】 CD Metrology procedures
【 發布單位 】 國家質量技術監督局
【 批準單位 】 國家質量技術監督局
【 發布日期 】 1999-9-13
【 實施日期 】 2000-6-1
【 開本頁數 】 9P
【 引用標準 】 GB/T 16878-1997; GB/T 16879-1997
【 采用關系 】 IDT SEMI P24:1994
【 起草單位 】 中國科學院微電子中心
【 起 草 人 】 陳寶欽; 陳森錦; 廖溫初; 劉明