GB/T 19444-2004硅片氧沉淀特性的測定—間隙氧含量減少法

【 標準編號 】 GB/T 19444-2004
【 標準名稱 】 硅片氧沉淀特性的測定—間隙氧含量減少法 
【 英文名稱 】 Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction
【 發布單位 】 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局; 中國國家標準化管理委員會
【 發布日期 】 2004-2-5
【 實施日期 】 2004-7-1
【 開本頁數 】 5P
【 引用標準 】 GB/T 1557; GB/T 14143; GB/T 14144
【 采用關系 】 IDT ASTMF1239:1994
【 起草單位 】 洛陽單晶硅有限責任公司; 中國有色金屬工業標準計量質量研究所
【 起 草 人 】 蔣建國; 屠妹英; 賀東江; 章云杰