橢偏儀的結(jié)構(gòu)和原理

不知道有沒(méi)有人用橢偏儀

此類儀器較多用于長(zhǎng)度量的測(cè)量

原帖由 Rie 于 2008-8-12 20:54 發(fā)表
此類儀器較多用于長(zhǎng)度量的測(cè)量

橢偏儀一般是測(cè)試薄膜的厚度的...可到0.1nm級(jí)別.測(cè)試長(zhǎng)度的橢偏儀倒沒(méi)有聽(tīng)說(shuō)過(guò).

我說(shuō)的是長(zhǎng)度量，0.1nm不是表征長(zhǎng)度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ]

沒(méi)積分。。。。

kking 發(fā)表于 2009-1-6 12:32
橢偏儀一般是測(cè)試薄膜的厚度的...可到0.1nm級(jí)別.測(cè)試長(zhǎng)度的橢偏儀倒沒(méi)有聽(tīng)說(shuō)過(guò). ...

確實(shí)式測(cè)量厚度，本想再這個(gè)論壇搜索下這個(gè)資料的，看來(lái)用這個(gè)的人比較少

Rie 發(fā)表于 2009-1-13 20:01
我說(shuō)的是長(zhǎng)度量，0.1nm不是表征長(zhǎng)度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ] ...

這個(gè)論壇能否專業(yè)點(diǎn)。
這個(gè)是基本半導(dǎo)體行業(yè)用于測(cè)量膜厚度的。標(biāo)樣基本是100nm的厚度膜。
而且涉及橢偏儀角度之類的，所以校準(zhǔn)應(yīng)該是涉及角度和膜厚還有折射率之類的。
目前我看了中國(guó)計(jì)量院好像有這個(gè)，還有光伏中心實(shí)驗(yàn)室也有部分有，應(yīng)該是用標(biāo)樣片拿到現(xiàn)場(chǎng)比對(duì)下。
還不如自己拿標(biāo)樣去廠家那邊跑一下數(shù)據(jù)。