橢偏儀的結(jié)構(gòu)和原理

不知道有沒有人用橢偏儀

此類儀器較多用于長度量的測量

原帖由 Rie 于 2008-8-12 20:54 發(fā)表
此類儀器較多用于長度量的測量

橢偏儀一般是測試薄膜的厚度的...可到0.1nm級別.測試長度的橢偏儀倒沒有聽說過.

我說的是長度量，0.1nm不是表征長度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ]

沒積分。。。。

kking 發(fā)表于 2009-1-6 12:32
橢偏儀一般是測試薄膜的厚度的...可到0.1nm級別.測試長度的橢偏儀倒沒有聽說過. ...

確實式測量厚度，本想再這個論壇搜索下這個資料的，看來用這個的人比較少

Rie 發(fā)表于 2009-1-13 20:01
我說的是長度量，0.1nm不是表征長度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ] ...

這個論壇能否專業(yè)點。
這個是基本半導(dǎo)體行業(yè)用于測量膜厚度的。標(biāo)樣基本是100nm的厚度膜。
而且涉及橢偏儀角度之類的，所以校準(zhǔn)應(yīng)該是涉及角度和膜厚還有折射率之類的。
目前我看了中國計量院好像有這個，還有光伏中心實驗室也有部分有，應(yīng)該是用標(biāo)樣片拿到現(xiàn)場比對下。
還不如自己拿標(biāo)樣去廠家那邊跑一下數(shù)據(jù)。