SJ 2798-87電子級(jí)氣體中顆粒和痕量雜質(zhì)測(cè)定方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào) 】 SJ 2798-87
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子級(jí)氣體中顆粒和痕量雜質(zhì)測(cè)定方法  
【 發(fā)布單位 】 電子工業(yè)部
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1987-5-18
【 實(shí)施日期 】 1988-1-1
【 開本頁數(shù) 】 7P
【 起草單位 】 北京市半導(dǎo)體器件試驗(yàn)中心; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所
【 起 草 人 】 周定華; 杜俊英; 趙長春