SJ 2801-87電子級氣體中痕量一氧化碳測定方法預(yù)切割

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ 2801-87
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 電子級氣體中痕量一氧化碳測定方法預(yù)切割、氫焰轉(zhuǎn)化色譜法  
【 發(fā)布單位 】 電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1987-5-18
【 實(shí)施日期 】 1988-1-1
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 起草單位 】 電子工業(yè)部第十設(shè)計(jì)研究院; 電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所; 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
【 起 草 人 】 鄒靖蓀; 趙長春; 尹恩華