SJ 2804.2-87電子級氬中痕量氮的測定方法變溫濃縮色譜法(二)

【 標準編號 】 SJ 2804.2-87
【 標準名稱 】 電子級氬中痕量氮的測定方法變溫濃縮色譜法(二)  
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1987-5-18
【 實施日期 】 1988-1-1
【 開本頁數 】 5P
【 起草單位 】 電子工業部第八七八廠; 電子工業部標準化研究所; 中國科學院半導體研究所
【 起 草 人 】 邢玉英; 張雋; 趙長春; 尹恩華