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SJ/T 10152-91集成電路主要工藝設備術語

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woshi_tjy 發表于 2008-8-2 13:12:49 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 SJ/T 10152-91
【標準名稱】集成電路主要工藝設備術語
【英文名稱】 Terms Relating to Main Equipment for Integrated Circuit Technologies
【發布單位】中華人民共和國機械電子工業部
【批準單位】中華人民共和國機械電子工業部
【發布日期】 1991-4-2
【實施日期】 1991-7-1
【開本頁數】 67P
【起草單位】機械電子工業部第45研究所
【起草人】劉恩榮; 方偉林; 安志超; 濮川; 童志義

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