SJ/T 10152-91集成電路主要工藝設(shè)備術(shù)語

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ/T 10152-91
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 集成電路主要工藝設(shè)備術(shù)語  
【 英文名稱 】 Terms Relating to Main Equipment for Integrated Circuit Technologies
【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國機械電子工業(yè)部
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國機械電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1991-4-2
【 實施日期 】 1991-7-1
【 開本頁數(shù) 】 67P
【 起草單位 】 機械電子工業(yè)部第45研究所
【 起 草 人 】 劉恩榮; 方偉林; 安志超; 濮川; 童志義