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SJ/T 10274-91掩模對準曝光機測試方法

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woshi_tjy 發表于 2008-7-31 20:21:14 | 只看該作者回帖獎勵

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【標準編號】 SJ/T 10274-91
【標準名稱】掩模對準曝光機測試方法
【英文名稱】 Test methods of mask alignment and exposure system
【發布單位】中華人民共和國機械電子工業部
【批準單位】中華人民共和國機械電子工業部
【發布日期】 1991-11-12
【實施日期】 1992-1-1
【開本頁數】 10P
【引用標準】 GB 11481; GB 7237; GB 4857.9; GB 5398
【起草單位】國營南光機器廠
【起草人】唐志宇; 武又文

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