SJ/T 31067-94S槍磁控濺射臺完好要求和檢查評定方法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 SJ/T 31067-94
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 S槍磁控濺射臺完好要求和檢查評定方法  
【 發(fā)布單位 】 CSIC-SJ
【 批準(zhǔn)單位 】 中華人民共和國電子工業(yè)部
【 發(fā)布日期 】 1994-4-15
【 實施日期 】 1994-6-1
【 開本頁數(shù) 】 3P
【 起草單位 】 電子工業(yè)部第13研究所
【 起 草 人 】 穆杰; 牛愛欣