[求助] 光學顯微鏡的校驗標準器

公司有幾臺光學顯微鏡，
主要用于測量IC的偏移量，
由于拿出去外校費用比較昂貴，
所以考慮內校，
請問校驗的標準器應該如何選擇？

用玻璃尺？光波干涉測長機（Laser Interferometer）？目鏡測微器(Objective Micrometer)？
對于這幾個工具，我也是比較困惑。。。
校驗的方式應該怎樣進行呢？
感謝!~