SJ/T 11184-1998顯影設備通用規范

【 標準編號 】 SJ/T 11184-1998
【 標準名稱 】 顯影設備通用規范  
【 英文名稱 】 General specification for developing equipment
【 發布單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 批準單位 】 中華人民共和國電子工業部
【 發布日期 】 1998-3-11
【 實施日期 】 1998-5-1
【 開本頁數 】 9P
【 替代標準 】 SJ 3194-89
【 引用標準 】 GB 191-90; GB 2681-81; GB 2682-81; GB 5080.7-86; SJ 1635-1996; SJ 20385-93
【 起草單位 】 西北機器廠
【 起 草 人 】 馬化營; 王彥寧; 郝恭