SJ/T 11275-2002臥式液相外延系統通用規范

【 標準編號 】 SJ/T 11275-2002
【 標準名稱 】 臥式液相外延系統通用規范  
【 英文名稱 】 Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
【 發布單位 】 中華人民共和國信息產業部
【 發布日期 】 2002-10-30
【 實施日期 】 2003-3-1
【 開本頁數 】 11P
【 引用標準 】 GB 191; GBn 193; GB 5080.7; GB 6388; SJ/T 37-1996; SJ 1276; SJ 2573
【 起草單位 】 信息產業部電子第四十八研究所
【 起 草 人 】 袁章其; 劉日喜; 王理政; 李軍陽