基于雙頻激光干涉的坐標測量機測量不確定度檢定系統(tǒng)

作者：  祝連慶, 北京機械工業(yè)學院,北京,100085; 陳青山, 北京機械工業(yè)學院,北京,100085; 董明利, 北京機械工業(yè)學院,北京,100085; 張舒, 北京機械工業(yè)學院,北京,100085   
   會議名稱：  中國儀器儀表學會第八屆青年學術(shù)會議   
   會議時間：  20060728   
   會議地點：  大連   
  主辦單位：  中國儀器儀表學會  
         摘要：  本文分析了現(xiàn)有坐標測量機精度檢定的方法,設(shè)計了基于雙頻激光干涉儀為測量基準的三坐標測量機測量不確定度檢定系統(tǒng),給出了檢定過程中測量數(shù)據(jù)的處理方法和測量不確定度的表達式.該系統(tǒng)利用高精度的直線靜導軌和動導軌的組合可快速方便地實現(xiàn)三坐標測量機單軸和測量空間內(nèi)測量不確定度的檢定.