JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導(dǎo)體晶片電阻率測試系統(tǒng)校...

主題：JJF(電子)0072-2021非接觸渦流法半導(dǎo)體晶片電阻率測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范
內(nèi)容：
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】JJF(電子)0072-2021
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】非接觸渦流法半導(dǎo)體晶片電阻率測試系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范
【 英文名稱 】Calibration Specification of Semiconductor Wafer ResistivityTest System by Non -contact Eddy Current Method
【 發(fā)布單位 】中華人民共和國工業(yè)和信息化部
【 歸口單位 】中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院
【 發(fā)布日期 】 2021-12-02
【 實(shí)施日期 】 2022-04-01
【 開本頁數(shù) 】
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】首次發(fā)布
【 起草單位 】
【 起 草 人 】