JJF(電子)0060-2021半導體工藝用安時計現場校準規范

主題：JJF(電子)0060-2021半導體工藝用安時計現場校準規范
內容：
【 標準編號 】JJF(電子)0060-2021
【 標準名稱 】半導體工藝用安時計現場校準規范
【 英文名稱 】Field Calibration Specifications for Ampere - hourMeters of Semiconductor Process
【 發布單位 】中華人民共和國工業和信息化部
【 歸口單位 】中國電子技術標準化研究院
【 發布日期 】 2021-12-02
【 實施日期 】 2022-04-01
【 開本頁數 】
【 替代標準 】首次發布
【 起草單位 】中國電子科技集團公司第十三研究所
【 起 草 人 】本規范主要起草人:
喬玉娥(中國電子科技集團公司第十三研究所，
吳愛華(中國電子科技集團公司第十三研究所)荊曉冬(中國電子科技集團公司第十三研究所)
參加起草人:
翟玉衛(中國電子科技集團公司第十三研究所)任宇龍(中國電子科技集團公司第十三研究所，張立飛(中國電子科技集團公司第一三研究所)