JJF(電子)0060-2021半導(dǎo)體工藝用安時(shí)計(jì)現(xiàn)場校準(zhǔn)規(guī)范

主題：JJF(電子)0060-2021半導(dǎo)體工藝用安時(shí)計(jì)現(xiàn)場校準(zhǔn)規(guī)范
內(nèi)容：
【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】JJF(電子)0060-2021
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】半導(dǎo)體工藝用安時(shí)計(jì)現(xiàn)場校準(zhǔn)規(guī)范
【 英文名稱 】Field Calibration Specifications for Ampere - hourMeters of Semiconductor Process
【 發(fā)布單位 】中華人民共和國工業(yè)和信息化部
【 歸口單位 】中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院
【 發(fā)布日期 】 2021-12-02
【 實(shí)施日期 】 2022-04-01
【 開本頁數(shù) 】
【 替代標(biāo)準(zhǔn) 】首次發(fā)布
【 起草單位 】中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
【 起 草 人 】本規(guī)范主要起草人:
喬玉娥(中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所，
吳愛華(中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所)荊曉冬(中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所)
參加起草人:
翟玉衛(wèi)(中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所)任宇龍(中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所，張立飛(中國電子科技集團(tuán)公司第一三研究所)