微壓活塞式壓力計(jì)

技術(shù)資料
電源要求	FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，最大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA
正常工作溫度范圍	20～26 ℃
環(huán)境溫度穩(wěn)定性	0.1 ℃/每分鐘，最大變化率
重量	FPG8601平臺(tái)：30 kg (66 lb) FPG8601 終端： 2 kg (4.4 lb)
VLPC壓力控制器	41 kg (90.4 lb)
尺寸	FPG8601平臺(tái)：53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深 FPG8601終端：12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深 VLPC 壓力控制器：31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深
系統(tǒng)控制器	運(yùn)行FPG Tools，Windows操作系統(tǒng)， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的數(shù)據(jù)
全壓力量程	0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓
測(cè)試介質(zhì)	氮?dú)饣蚩諝?/td>
模式轉(zhuǎn)換時(shí)間	絕壓至表壓模式：30分鐘 表壓至絕壓模式：1小時(shí)
振動(dòng)	與傳統(tǒng)的活塞式壓力計(jì)相同，真空泵必須用軟管連接
壓力供給	活塞－套筒潤滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)饣蚩諝?/td>
	FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa
	回轉(zhuǎn)式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa
	VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)?/td>
	VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa
	驅(qū)動(dòng)氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa 壓縮空氣
壓力連接	測(cè)試高（FPG8601）：KF16 測(cè)試低（FPG8601）：KF16 真空參考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)/潤滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25

壓力測(cè)量
全量程	0～15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓
溫度影響	監(jiān)測(cè)儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對(duì)性能影響明顯時(shí)，發(fā)出報(bào)警。
分辨力	標(biāo)準(zhǔn)：0.010 Pa 高分辨力選件：0.001 Pa
典型壓力測(cè)量 不確定度	標(biāo)準(zhǔn)： 表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數(shù))
	高分辨力選件： 表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數(shù))
絕對(duì)模式下的典型殘留真空	用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa 用回轉(zhuǎn)式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa

壓力控制
控制范圍（Pa）	表壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍 最小壓力：0 最小受控壓力：0.1 Pa
	絕壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍 最小壓力：0.4～1 Pa 最小受控壓力：2 Pa
控制精度	標(biāo)準(zhǔn)： 表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力選件： 表壓模式：± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 注：控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時(shí)的常數(shù)更小。
標(biāo)稱測(cè)試容積	表壓模式：最高20 cc/側(cè)（高和低） 絕壓模式：最高500 cc/側(cè)（高和低） 壓力穩(wěn)定時(shí)間：1～2分鐘，取決于測(cè)試容積

活塞模塊
標(biāo)稱尺寸	直徑：35 mm 面積：10 cm2
活塞材料	碳化鎢
套筒材料	碳化鎢
安裝系統(tǒng)	非旋轉(zhuǎn)，獨(dú)立自定心，中央供氣，潤滑壓力
活塞－套筒間隙	對(duì)稱圓錐形間隙，雙錐形，在中央潤滑點(diǎn)為6微米，在活塞末端為1微米
潤滑氣體質(zhì)量	清潔、干燥的氨氣或空氣，內(nèi)部調(diào)整為40～70 %相對(duì)濕度
潤滑氣體壓力	表壓模式：40 kPa表壓 絕壓模式：40 kPa 絕壓 潤滑氣流量：< 1 sccm 至高和低壓力室

輔助測(cè)量
活塞－缸體溫度(℃)	范圍：0～40 分辨率：0.01 不確定度：± 0.1
殘留真空(Pa)	范圍：0 ～ 13 分辨率：0.001 不確定度：± (0.5 % 讀數(shù) + 5 MPa)

監(jiān)控測(cè)量
潤滑氣體溫度(℃)	范圍：0 ～ 40 分辨率：0.1 不確定度：± 0.2
潤滑氣壓力(kPa)	范圍：0 ～ 200 絕壓 分辨率：0.001 不確定度：± 0.1
潤滑氣濕度(%RH)	范圍：5 ～ 95 分辨率：1 不確定度：± 10

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