微壓活塞式壓力計

技術資料
電源要求	FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，最大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA
正常工作溫度范圍	20～26 ℃
環境溫度穩定性	0.1 ℃/每分鐘，最大變化率
重量	FPG8601平臺：30 kg (66 lb) FPG8601 終端： 2 kg (4.4 lb)
VLPC壓力控制器	41 kg (90.4 lb)
尺寸	FPG8601平臺：53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深 FPG8601終端：12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深 VLPC 壓力控制器：31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深
系統控制器	運行FPG Tools，Windows操作系統， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的數據
全壓力量程	0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓
測試介質	氮氣或空氣
模式轉換時間	絕壓至表壓模式：30分鐘 表壓至絕壓模式：1小時
振動	與傳統的活塞式壓力計相同，真空泵必須用軟管連接
壓力供給	活塞－套筒潤滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣或空氣
	FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa
	回轉式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa
	VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮氣
	VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa
	驅動氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa 壓縮空氣
壓力連接	測試高（FPG8601）：KF16 測試低（FPG8601）：KF16 真空參考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驅動/潤滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驅動（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25

壓力測量
全量程	0～15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓
溫度影響	監測儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時，發出報警。
分辨力	標準：0.010 Pa 高分辨力選件：0.001 Pa
典型壓力測量 不確定度	標準： 表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數) 絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數)
	高分辨力選件： 表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數) 絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數)
絕對模式下的典型殘留真空	用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa 用回轉式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa

壓力控制
控制范圍（Pa）	表壓模式：5個交疊的控制范圍 最小壓力：0 最小受控壓力：0.1 Pa
	絕壓模式：5個交疊的控制范圍 最小壓力：0.4～1 Pa 最小受控壓力：2 Pa
控制精度	標準： 表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力選件： 表壓模式：± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 注：控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時的常數更小。
標稱測試容積	表壓模式：最高20 cc/側（高和低） 絕壓模式：最高500 cc/側（高和低） 壓力穩定時間：1～2分鐘，取決于測試容積

活塞模塊
標稱尺寸	直徑：35 mm 面積：10 cm2
活塞材料	碳化鎢
套筒材料	碳化鎢
安裝系統	非旋轉，獨立自定心，中央供氣，潤滑壓力
活塞－套筒間隙	對稱圓錐形間隙，雙錐形，在中央潤滑點為6微米，在活塞末端為1微米
潤滑氣體質量	清潔、干燥的氨氣或空氣，內部調整為40～70 %相對濕度
潤滑氣體壓力	表壓模式：40 kPa表壓 絕壓模式：40 kPa 絕壓 潤滑氣流量：< 1 sccm 至高和低壓力室

輔助測量
活塞－缸體溫度(℃)	范圍：0～40 分辨率：0.01 不確定度：± 0.1
殘留真空(Pa)	范圍：0 ～ 13 分辨率：0.001 不確定度：± (0.5 % 讀數 + 5 MPa)

監控測量
潤滑氣體溫度(℃)	范圍：0 ～ 40 分辨率：0.1 不確定度：± 0.2
潤滑氣壓力(kPa)	范圍：0 ～ 200 絕壓 分辨率：0.001 不確定度：± 0.1
潤滑氣濕度(%RH)	范圍：5 ～ 95 分辨率：1 不確定度：± 10

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