氣體稱重法流量基準(zhǔn)

GFS 通用技術(shù)規(guī)范
供電要求
天平	100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 27 W。功耗
LCM	100 至 240 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 40 W。功耗
MFC-CB	85 V 至 264 V 交流，50 至 60 Hz，最大功率 36 W。功耗
工作溫度范圍	15 到 25°C
濕度范圍	5 到 70% RH（非凝結(jié)）
重量
花崗石表面（含支架）	大約 320 kg (700 lb)
系統(tǒng)其余部分	大約 70 kg (150 lb)
尺寸
花崗石表面（含支架）外圍	150 cm 高 x 90 cm 寬 x 60 cm 深 (58 in. x 36 in. x 24 in.)
LCM	8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)
MFC-CB	8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)
GFS-FS	20 cm 高 x 41.4 cm 寬 x 20 cm 深 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.)
支持的氣體	氮氣 (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)、氙氣 (Xe)
流量測量范圍	至少：
He、H2	100 sccm 到 10 slm
所有其他氣體	10 sccm 到 10 slm
壓力連接件 封殼的出口流量路徑	1/8” Swagelok 管裝置或等效裝置，使用 1/4” Swagelok 管裝置或等效裝置的適配器
參考氣體套筒壓力極限	20 MPa (3000 psi)
CE 認(rèn)證證書	提供，必須指定