大型被動隔振平臺測試規(guī)范公開征求意見稿

本規(guī)范適用于外形尺寸大于3m×3m、臺體工作面面積大于10m²的大型被動隔振平臺的測試。

大型被動隔振平臺是一種采用被動式振動隔離技術(shù)和大型平臺技術(shù)隔離與抑制環(huán)境微振動，減小或消除振動干擾問題對精密設(shè)備精度和性能影響的裝置。被動式振動隔離技術(shù)包括彈簧、橡膠、氣動技術(shù)與負(fù)剛度技術(shù)。