大型被動隔振平臺測試規范公開征求意見稿

本規范適用于外形尺寸大于3m×3m、臺體工作面面積大于10m²的大型被動隔振平臺的測試。

大型被動隔振平臺是一種采用被動式振動隔離技術和大型平臺技術隔離與抑制環境微振動，減小或消除振動干擾問題對精密設備精度和性能影響的裝置。被動式振動隔離技術包括彈簧、橡膠、氣動技術與負剛度技術。