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[線紋] 激光干涉儀

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兌水 發表于 2025-2-17 15:23:16 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
實驗室認可領域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 激光干涉儀
英文名稱:
型號規格: XL-80
測量范圍:
等級:
分辨率:
技術指標: -
生產廠家: renishaw
描述: 激光穩頻精度通過熱控制技術將激光管的長度變化控制在幾納米的范圍內，使精度在3年內保持在±0.05 ppm（百萬分之一）。
線性測量精度在整個環境范圍內，即在0 oC - 40 oC（32 oF - 104 oF）和650 mbar - 1150 mbar的范圍內，精度為±0.5 ppm。XL-80能夠以高達50 kHZ的頻率讀取數據，最高線性測量速度可達到4 m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達到1 nm。
集成式USB意味著激光系統與計算機之間無需單獨的接口。
LED狀態指示燈位于激光頭前部，可顯示激光狀態和信號強度，相當于將軟件屏幕上的“狀態顯示”功能擴展到激光頭上。
靈活切換標準 (40 m) 和長 (80 m) 距離模式。
模擬I/O端口允許傳輸模擬信號輸出和觸發信號輸入。
預熱時間少于6分鐘。
外接開關電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。
CARTO軟件包可以進行線性、角度、回轉軸、直線度和垂直度測量。但其他測量模式則需要使用LaserXL軟件。
相關文檔:  
相關標準: JJG 739 激光干涉儀
本帖最后由 兌水 于 2025-2-17 15:29 編輯

規格
量程
范圍
測量精度
分辨率
線性測量
0 m – 80 m

±0.5ppm
0.001μm
角度測量
0 m – 15 m
±175 mm/m
±0.002A±0.5±0.1M微弧度
±0.0002A±0.5±0.1M微弧度*
0.1μm/m
直線度測量
0.1  m – 4.0 m*
1 m – 30 m
±2.5  mm
±0.005A±0.5±0.15M2μm
±0.025A±5±0.015M2μm
0.01μm
0.1μm
回轉軸測量
25轉

±5μm/m
平面度測量
0 m – 15 m
±1.5 mm
±0.002A±0.02 M2μm
0.01μm
垂直度測量
±3/M mm/m

±0.005A±2.5±0.8 M微弧度
±0.025A±2.5±0.08 M微弧度
0.01μm/m

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