我國建成全球首套表界面微觀形貌缺陷測量“三維標尺”

近日，市場監管總局批準新建區域法表面與亞表面結構幾何參數基準裝置，該裝置在國際上率先實現從二維“輪廓線”到三維“空間體”的維度提升，實現表界面結構空間立體成像。

該基準裝置實現表界面微觀幾何形貌結構計量能力從“盲人摸象”輪廓法躍升至“三維全景”區域法的技術跨越，開創亞表面結構計量體系，填補我國三維表面形貌與亞表面結構計量能力空白。其核心技術實現完全自主可控，使我國在表界面計量領域完成了從跟跑到領跑的歷史性跨越，為集成電路、高端智能裝備、航空航天、遙感探測等精密制造業高質量發展夯實計量基礎。

超精密制造、原子級制造已成為當前和未來一段時間制造強國建設的重要發展方向。表界面結構幾何參數的準確評定直接關乎絕大多數制造業產品的質量安全、疲勞失效等全壽命周期問題。因此國家表界面結構計量基準與計量體系的能力水平是我國搶占全球制造業制高點的決定性因素之一。

該基準裝置不僅實現了傳統表面粗糙度參數迭代更新至區域法三維表面形貌參數，還將測量維度從表面形貌拓展至表面下130微米范圍內的亞表面區域微觀幾何結構，達到國際領先水平。一次測量即可同時獲得表界面立體空間的微觀形貌和結構信息，猶如在長白山天池水域內，同時精準獲取水面漣漪與水中魚群乃至水底地貌。

https://www.samr.gov.cn/xw/sj/art/2025/art_b63d6c696f7c4038bc60052b163a0ffa.html

歷害了我的國~~，必需為祖國點贊