AOI校準(zhǔn)和MSA分析

想請教各位大佬兩個問題：
1、AOI怎么做校準(zhǔn)呢？
2、AOI做計數(shù)型MSA，設(shè)備用于檢測晶圓，能否在一個晶圓上選擇50個芯粒，好壞參半，用機(jī)臺檢測3次，然后用MINITAB分析呢？
謝謝大家！

首先 你不懂校準(zhǔn) AOI是啥你都不說 讓人教你啥
其次 壓根不清楚MSA里的計數(shù)型判定要求
只能說提問題都不會提

MSA不是校準(zhǔn)
kappa分析應(yīng)該是可以的

校準(zhǔn)可以問問廠家

我們一起AOI是做標(biāo)準(zhǔn)件對標(biāo)的

AOI需要校準(zhǔn)嗎？采用什么國標(biāo)來做呀

3D AOI 需用原配校準(zhǔn)塊校準(zhǔn)高度示值偏差           一般定義規(guī)格±2UM

謝謝分享！