氦質譜檢漏儀校準規范(征求意見稿)

氦質譜檢漏儀校準規范(征求意見稿)
氦質譜檢漏儀（以下簡稱檢漏儀）主要利用不同質荷比的離子在磁場中受洛倫茲力不同而做圓周運動半徑不同的磁偏轉原理，將不同離子分離并通過收集氦氣的離子流實現漏率的測量。檢漏儀廣泛應用于航空航天、核工業、石油化工、食品藥品和電子電器等領域，測量關鍵設備和部件的漏率，保證生產和運行的安全和穩定。
檢漏儀主要由離子源、分析器、接收器、真空系統、數據分析系統及其它電氣部分組成。檢漏儀內部的構造及工作原理見圖1。

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