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[線紋] 激光干涉儀

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實驗室認可領域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 激光干涉儀
英文名稱: Laser interferometer
型號規格: XL-80
測量范圍: 80m
等級:
分辨率: 1 nm
技術指標: ±0.5 ppm
生產廠家: Renishaw
描述: 激光干涉儀是以激光波長為測量標準，進行位移、直線度、角度等幾何量測量的高精度、多功能計量儀器。它是利用兩束單頻激光束，或兩束具有微小固定頻差的雙頻激光束，進行干涉測量的儀器。
激光干涉儀包括激光頭、電箱、光學組件、計算機、環境參數傳感器、測量軟件等。主要用于機床、加工中心、坐標測量機等設備的檢測。
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相關標準: JJG 739 激光干涉儀檢定規程
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