晶圓級臺階高度凹槽深度標準片校準規范征求意見稿

晶圓級臺階高度/凹槽深度標準片（以下簡稱標準片）是用來校準微電子集成電路領域微納表面形貌測量儀的標準器（見圖1）。其基底為硅晶片，通過對其表面氧化膜刻蝕得到臺階結構，可適應于接觸或非接觸式的各類表面形貌顯微測量裝置。特征結構位于標準片的中心，可通過輔助圖形幫助快速定位。