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[幾何量?jī)x器] X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范征求意見稿

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八一八 發(fā)表于 2023-10-10 08:41:24 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
X射線熒光鍍層測(cè)厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器,具有分析測(cè)量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能,廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、首飾、材料分析等行業(yè)。X射線熒光鍍層測(cè)厚儀測(cè)量鍍層厚度的原理是:X射線管產(chǎn)生的初級(jí)X射線照射在被分析的樣品上,樣品受激發(fā)而輻射出二次X射線被探測(cè)器接收,此二次輻射具有該樣品材料的波長(zhǎng)和能量特征,鍍層厚度和二次輻射強(qiáng)度有一定的關(guān)系,經(jīng)多道分析器及計(jì)算機(jī)進(jìn)行能譜分析處理后,計(jì)算被測(cè)樣品的鍍層厚度。
X射線熒光鍍層測(cè)厚儀的工作原理示意圖見圖1。外形示意圖參見圖2和圖3.

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