能量天平高靈敏度力傳感裝置研究

王越；白洋；李正坤
中國計量科學研究院
摘要：高靈敏度力值測量是能量天平實現高精度千克復現研究的關鍵，現有橫梁天平測力法與商用質量比較器測力在能量天平力值測量中會引入額外誤差項。針對該問題，提出了一種基于多柔性鉸鏈的高靈敏度力傳感裝置設計方法，該方法通過多柔性鉸鏈實現力值與機構形變間的轉換，然后利用激光干涉儀測量機構形變，實現高靈敏度力值測量，通過理論與有限元仿真分析對裝置靈敏度和模態進行了仿真分析，該設計方法可實現靈敏度達8.13 N/m的力值傳感。此項研究對下一代能量天平設計與千克復現研究有重要意義。