只需一步，快速開始
【 標準編號 】 GB/T 19921-2005【 標準名稱 】 硅拋光片表面顆粒測試方法
【 英文名稱 】 Test method of particles on silicon wafer surfaces【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局; 中國國家標準化管理委員會【 發(fā)布日期 】 2005-9-19【 實施日期 】 2006-4-1【 開本頁數 】 10P【 引用標準 】 ASTM F1620-96; ASTM F 1621-96; SEMI M1-0302【 起草單位 】 北京有色金屬研究總院【 起 草 人 】 孫燕; 盧立延; 董慧燕; 劉紅艷; 翟富義
BZ002033389.pdf
2008-5-3 21:27 上傳
點擊文件名下載附件
316.1 KB, 下載次數: 8, 下載積分: 金幣 -1
舉報
本版積分規(guī)則 發(fā)表回復 回帖后跳轉到最后一頁
小黑屋|Archiver|計量論壇 ( 閩ICP備06005787號-1—304所 ) 電話：0592-5613810 QQ:473647 微信:gfjlbbs閩公網安備 35020602000072號
GMT+8, 2025-7-20 06:24
Powered by Discuz! X3.4
Copyright © 2001-2023, Tencent Cloud.
閩公網安備 35020602000072號
收藏
贊
踩