用于掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)的10μm格柵樣板

張曉東,趙琳,李鎖印,韓志國,許曉青,吳愛華
中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
摘要：掃描電子顯微鏡是半導(dǎo)體領(lǐng)域用于關(guān)鍵尺寸測量的重要儀器。為了保證儀器量值的準(zhǔn)確和一致，需要對掃描電子顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)。首先，針對校準(zhǔn)規(guī)范中提到的正交畸變和線性失真度參數(shù)，采用半導(dǎo)體工藝，研制了一種標(biāo)稱值為10μm的格柵樣板。其次，為了準(zhǔn)確評價(jià)格柵特征的一致性，研究了一種矩形檢測算法。測量過程中，使用該算法對樣板的格柵特征進(jìn)行測量，并把使用原子力顯微鏡獲取的測量數(shù)據(jù)作為參考值。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示：矩形檢測算法能夠快速檢測出格柵特征，測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定在6 nm以內(nèi)。此外，研制的格柵樣板一致性好，一致性參數(shù)控制在0.2以內(nèi)，能夠應(yīng)用于掃描電子顯微鏡的校準(zhǔn)。

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)的10μm格柵樣板  學(xué)習(xí)了

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