高分辨透射電子顯微鏡的校準方法

王芳1施玉書1周瑩2
1. 中國計量科學研究院2. 上海市計量測試技術研究院
摘要：透射電子顯微鏡作為納米尺度的重要分析工具，其長度量值的準確性將直接影響樣品的測量結果。本研究采用單晶硅晶格標準器，對高分辨透射電子顯微鏡的長度測量誤差與長度測量重復性進行了校準，并對長度測量誤差的不確定度進行評定。為說明校準方法的適用性，研究中對三臺不同型號的高分辨透射電子顯微鏡進行了校準實驗，結果顯示該校準方法具有廣泛的代表性，可實現透射電子顯微鏡的精確評價，測量量值可溯源至硅晶格常數，為納米技術領域的精準測量提供技術保障。